產品介紹

不銹鋼硅烷燃燒塔系統

      從PECVD工藝設備出來的廢氣主要為硅烷及氨氣。硅烷是一種可燃性氣體，并且易自燃（接觸空氣后就會燃燒），而氨氣是一種可溶性氣體，處理這些混合廢氣分兩步走：先燃燒后噴淋吸收。本項目采用1套我公司最新研制生產的XJR-II-2型不銹鋼硅烷燃燒塔。

      PECVD的工藝廢氣設備具體處理過程如下：

      含有硅烷及氨氣等成分的混合廢氣通過管道進入不銹鋼硅烷燃燒塔中，在燃燒塔的燃燒室內硅烷氣體與通入的壓縮空氣接觸燃燒，燃燒后產生的二氧化硅粉塵從燃燒室底部的排渣口排出，而含有氨氣的其他廢氣進入噴淋洗滌室。在噴淋洗滌室中，氨氣與循環液發生反應而被處理掉，處理完的氣體經脫液室脫液處理后由抽風機抽出，最后通過排放煙囪排入大氣，排出氣體達到GB14554-93《惡臭污染排放標準》標準。當PECVD發生故障而出現應急排放時會排出大量的純硅烷，為了提高系統處理應急排放時的廢氣處理能力，本系統在燃燒塔前接一個不銹鋼硅烷應急燃燒筒。

      具體處理如下圖：

      為了提高設備安全性，在進氣方面采用壓縮空氣加新風補氣的雙進風形式；在噴淋系統方面，采用循環水泵與自動補水相結合的方法；清渣方面采用我公司最新研制的隔離清渣系統，可以在不停機的狀態下輕松解決清渣問題，解決以往必須停機才可清渣的缺點；在噴淋室內加裝了一套粉塵分離系統，可以有效的將少量沒能在燃燒室沉積下來的二氧化硅粉塵進行自動分離，這些最新的結構設計使整個設備真正做到24小時不停機運行；風機采用一用一備形式。這些工藝特點一方面使得本產品在安全可靠性方面得到進一步的保證，另一方面徹底解決因設備停機檢修而給用戶帶來的直接經濟損失。

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